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发明名称 EINKRISTALLINES SILIZIUM AUF QUARZ
摘要
申请公布号 DE69320210(T2) 申请公布日期 1999.02.11
申请号 DE1993620210T 申请日期 1993.08.30
申请人 HONEYWELL, INC., MINNEAPOLIS, MINN., US 发明人 SARMA, KALLURI, R., MESA, AZ 85202, US;CHANLEY, CHARLES, S., SCOTTSDALE, AZ 85257, US
分类号 G02F1/1345;G02F1/136;G02F1/1368;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/306;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/764;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 G02F1/1345
代理机构 代理人
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