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发明名称 Vollständig substituierte Novalak-Polymere enthaltende Strahlungsempfindliche Zusammensetzungen
摘要
申请公布号 DE69032873(D1) 申请公布日期 1999.02.11
申请号 DE19906032873 申请日期 1990.09.06
申请人 OLIN MICROELECTRONIC CHEMICALS, INC., NORWALK, CONN., US 发明人 EBERSOLE, CHARLES E., CHESHIRE, CONNECTICUT 06410, US
分类号 G03F7/023;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/023 主分类号 G03F7/023
代理机构 代理人
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