发明名称 Negative lichtempfindliche Zusammensetzung und Verfahren zur Bildung eines Photolackmusters
摘要
申请公布号 DE69130003(T2) 申请公布日期 1999.02.11
申请号 DE19916030003T 申请日期 1991.05.23
申请人 MITSUBISHI CHEMICAL CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OCHIAI, TAMEICHI, SAGAMIHARA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;TAKAHASHI, NORIAKI, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;ISHIGURO, TOMOYO, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;YOSHIZAWA, MIKA, MACHIDA-SHI, TOKYO, JP
分类号 G03F7/004;G03F7/029;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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