发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR GENERATING X-RAY OR EUV RADIATION
摘要
申请公布号 EP0895706(A1) 申请公布日期 1999.02.10
申请号 EP19970921060 申请日期 1997.04.25
申请人 JETTEC AB 发明人 HERTZ, HANS, M.;MALMQVIST, LARS;RYMELL, LARS;BERGLUND, MAGNUS
分类号 G21K5/00;G03F7/20;G21K5/02;G21K5/08;H01L21/027;H05G2/00;H05H1/00;(IPC1-7):H05G2/00 主分类号 G21K5/00
代理机构 代理人
主权项
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