| 发明名称 |
Single body injector and deposition chamber |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU8299398(A) |
申请公布日期 |
1999.02.10 |
| 申请号 |
AU19980082993 |
申请日期 |
1998.07.10 |
| 申请人 |
WATKINS-JOHNSON COMPANY |
发明人 |
ADAM Q. MILLER;DANIEL M. DOBKIN |
| 分类号 |
C03C17/00;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31 |
主分类号 |
C03C17/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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