发明名称 A method of forming an oxide film on a semiconductor device
摘要
申请公布号 GB2291171(B) 申请公布日期 1999.02.10
申请号 GB19950013226 申请日期 1995.06.29
申请人 * HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 MI RA * PARK
分类号 H01L21/336;C30B33/00;H01L21/00;(IPC1-7):F27D7/02 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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