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发明名称 Scanning exposure apparatus with surface position detecting system
摘要
申请公布号 EP0813115(A3) 申请公布日期 1999.02.10
申请号 EP19970304134 申请日期 1997.06.12
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 KAWASHIMA, HARUNA
分类号 G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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