| 发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCING PARTICULATE AND THIN-FILM MATERIAL BY VAPOR PHASE METHOD AND PRODUCTION THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1135399(A) |
申请公布日期 |
1999.02.09 |
| 申请号 |
JP19970189753 |
申请日期 |
1997.07.15 |
| 申请人 |
TAISEI CORP;WADA NOBUHIKO |
发明人 |
KOBAYASHI HIDEO;MORI MASATO;SAKAI YOSHIHITO;WADA NOBUHIKO |
| 分类号 |
C30B25/02;C23C16/50;C30B29/04;C30B30/08;H01L21/205;(IPC1-7):C30B30/08 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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