Vorrichtung zur plasmaunterstützten Bearbeitung von Substraten und Verwendung dieser Vorrichtung,申请号DE19914118973-传众专利搜索

发明名称	Vorrichtung zur plasmaunterstützten Bearbeitung von Substraten und Verwendung dieser Vorrichtung
摘要
申请公布号	DE4118973(C2)	申请公布日期	1999.02.04
申请号	DE19914118973	申请日期	1991.06.08
申请人	FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV, 80636 MUENCHEN, DE	发明人	HEINRICH, FRIEDHELM, DIPL.-PHYS., 12161 BERLIN, DE;HOFFMANN, PETER, DIPL.-PHYS., 10555 BERLIN, DE
分类号	C23C14/34;C23C14/35;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32;H05H1/46;C23F4/04	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
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