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经营范围
发明名称
WAFER-MEASURING METHOD AND EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH1126523(A)
申请公布日期
1999.01.29
申请号
JP19970184035
申请日期
1997.07.09
申请人
ASIA ELECTRON INC
发明人
NAGASHIMA MASANORI
分类号
G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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