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经营范围
发明名称
METAL ION SOURCE
摘要
申请公布号
JPH1125873(A)
申请公布日期
1999.01.29
申请号
JP19970178632
申请日期
1997.07.03
申请人
KOBE STEEL LTD
发明人
INUISHI NORIYUKI;KUMAKIRI TADASHI;AKARI KOUICHIROU;MUNEMASA ATSUSHI
分类号
H01J27/22;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/22
主分类号
H01J27/22
代理机构
代理人
主权项
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