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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH1126395(A) 申请公布日期 1999.01.29
申请号 JP19970175782 申请日期 1997.07.01
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MIYANO KIYOTAKA
分类号 H01L21/28;H01L21/203;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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