发明名称 |
THINFILM TRANSISTOR AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1126771(A) |
申请公布日期 |
1999.01.29 |
申请号 |
JP19970176773 |
申请日期 |
1997.07.02 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHINAGAWA TAKAAKI;KAWACHI GENSHIROU |
分类号 |
G02F1/136;G02F1/1368;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
G02F1/136 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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