发明名称 THINFILM TRANSISTOR AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1126771(A) 申请公布日期 1999.01.29
申请号 JP19970176773 申请日期 1997.07.02
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHINAGAWA TAKAAKI;KAWACHI GENSHIROU
分类号 G02F1/136;G02F1/1368;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 G02F1/136
代理机构 代理人
主权项
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