发明名称 MECHANISM FOR DETECTING CONTAINING STATE OF IC IN HORIZONTAL TRANSFER AUTO-HANDLER
摘要
申请公布号 JPH1123657(A) 申请公布日期 1999.01.29
申请号 JP19970189057 申请日期 1997.06.30
申请人 ANDO ELECTRIC CO LTD 发明人 GOTO YOSHIHIRO;TANAKA HIDEYUKI
分类号 G01R31/26;B65D85/86;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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