发明名称 |
MECHANISM FOR DETECTING CONTAINING STATE OF IC IN HORIZONTAL TRANSFER AUTO-HANDLER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1123657(A) |
申请公布日期 |
1999.01.29 |
申请号 |
JP19970189057 |
申请日期 |
1997.06.30 |
申请人 |
ANDO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
GOTO YOSHIHIRO;TANAKA HIDEYUKI |
分类号 |
G01R31/26;B65D85/86;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
G01R31/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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