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发明名称 FORMATION OF INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH1126449(A) 申请公布日期 1999.01.29
申请号 JP19970173810 申请日期 1997.06.30
申请人 SONY CORP 发明人 HARA MASATERU
分类号 H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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