发明名称 ION BEAM GENERATOR
摘要
申请公布号 JPH1125871(A) 申请公布日期 1999.01.29
申请号 JP19970178631 申请日期 1997.07.03
申请人 KOBE STEEL LTD 发明人 ADACHI SHIGETO
分类号 G21K5/04;H01J27/08;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/08 主分类号 G21K5/04
代理机构 代理人
主权项
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