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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1126569(A) 申请公布日期 1999.01.29
申请号 JP19970195121 申请日期 1997.07.04
申请人 SONY CORP 发明人 YAMAZAKI TAKESHI
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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