| 发明名称 |
METHOD FOR PRE-TREATING FORMATION OF INSULATING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1126451(A) |
申请公布日期 |
1999.01.29 |
| 申请号 |
JP19970176980 |
申请日期 |
1997.07.02 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KOBAYASHI IKUNORI;TSUBOI NOBUYUKI;SANO HIROSHI;FUJIWARA TAKASHI |
| 分类号 |
G02F1/136;G02F1/1368;H01L21/316;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
G02F1/136 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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