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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1126347(A) 申请公布日期 1999.01.29
申请号 JP19970176880 申请日期 1997.07.02
申请人 SONY CORP 发明人 SUGAWARA MINORU
分类号 B05D1/40;B05D3/06;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B05D1/40
代理机构 代理人
主权项
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