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发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Halbleitereinrichtung
摘要
申请公布号 DE69506646(D1) 申请公布日期 1999.01.28
申请号 DE19956006646 申请日期 1995.08.08
申请人 MURATA MFG. CO., LTD., NAGAOKAKYO, KYOTO, JP 发明人 YOSHIDA, KAZUHIRO, C/O MURATA MANUFAC. CO., LTD., NAGAOKAKYO-SHI, KYOTO-FU, JP
分类号 H01L29/812;H01L21/027;H01L21/285;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
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