Automatische Fokussierungsvorrichtung und Projektionsbelichtungsgerät mit einer solchen Anordnung,申请号DE19916030628-传众专利搜索

发明名称	Automatische Fokussierungsvorrichtung und Projektionsbelichtungsgerät mit einer solchen Anordnung
摘要
申请公布号	DE69130628(D1)	申请公布日期	1999.01.28
申请号	DE19916030628	申请日期	1991.08.30
申请人	CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	KATAOKA, YOSHIHARU, C/O KOSUGI JIGYOSHO, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;SUZUKI, AKIYOSHI, C/O KOSUGI JIGYOSHO, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;YAMADA, YUICHI, C/O KOSUGI JIGYOSHO, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号	G01C3/06;G02B7/28;G03F7/207;G03F9/00;G03F9/02;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03B41/00	主分类号	G01C3/06
代理机构		代理人
主权项
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