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发明名称 Induktiv gekoppelter Plasmareaktor mit einer Elektrode zur Erleichterung der Plasmazündung
摘要
申请公布号 DE69506619(D1) 申请公布日期 1999.01.28
申请号 DE19956006619 申请日期 1995.05.31
申请人 APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 FORSTER, JOHN, SAN FRANCISCO, CALIFORNIA 94103, US;COHEN, BARNEY M., SANTA CLARA, CALIFORNIA 95051, US;STIMSON, BRADLEY O., MOUNTAIN VIEW, CALIFORNIA 94040, US;PROULX, GEORGE, MOUNTAIN VIEW, CALIFORNIA 94043, US
分类号 C23C16/50;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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