Verfahren zum Feststellen eines strukturellen Defektes eines Films,申请号DE19926026911T-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zum Feststellen eines strukturellen Defektes eines Films
摘要
申请公布号	DE69226911(T2)	申请公布日期	1999.01.28
申请号	DE19926026911T	申请日期	1992.06.24
申请人	CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	ALBRECHT, OTTO, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;EGUCHI, KEN, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP
分类号	G01N21/84;G01N21/88;G01N21/956;G06T1/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/84;G01N21/89	主分类号	G01N21/84
代理机构		代理人
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