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发明名称 BOARD TESTER
摘要
申请公布号 JPH1123646(A) 申请公布日期 1999.01.29
申请号 JP19970181507 申请日期 1997.07.07
申请人 JSR CORP 发明人 KIMURA KIYOSHI;SHIMODA SUGIRO;SUZUKI SATOSHI
分类号 G01R31/26;G01R31/02;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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