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发明名称 DIFFRACTION MANAGEMENT FOR GRAZING INCIDENCE INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 EP0892909(A1) 申请公布日期 1999.01.27
申请号 EP19970917873 申请日期 1997.04.07
申请人 TROPEL CORPORATION 发明人 KULAWIEC, ANDREW, W.;MICHALOSKI, PAUL, F.
分类号 G01B9/02;G01B11/00;G01B11/24;G01N21/88;G01N21/952;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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