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发明名称 Device for in situ measurement of stress in films
摘要
申请公布号 EP0740139(B1) 申请公布日期 1999.01.27
申请号 EP19960250096 申请日期 1996.04.25
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 LUETHJE, HOLGER DIPL.-ING.;DAAUD, SIMONE DIPL.-ING.
分类号 G01L5/00;G01B11/16;G01J5/04;G01L5/10;H01L21/66;(IPC1-7):G01L5/00;C23C14/54;G01L1/24 主分类号 G01L5/00
代理机构 代理人
主权项
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