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经营范围
发明名称
Inner diameter saw slicing machine
摘要
申请公布号
EP0633086(B1)
申请公布日期
1999.01.27
申请号
EP19930119139
申请日期
1993.11.27
申请人
SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED
发明人
TERASHIMA, SEIICHI;KITA, MASAO
分类号
B23D59/00;H01L21/304;B23D59/02;B28D1/22;B28D5/00;B28D5/02;C30B33/00;(IPC1-7):B23D59/02;B28D7/04
主分类号
B23D59/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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