发明名称 Waterborne photoresists having non-ionic fluorocarbon surfactants
摘要
申请公布号 IL112005(A) 申请公布日期 1999.01.26
申请号 IL19940112005 申请日期 1994.12.16
申请人 MORTON INTERNATIONAL, INC. 发明人
分类号 G03F7/004;G03F7/027;G03F7/028;G03F7/031;G03F7/033;H05K3/00;H05K3/06;H05K3/28;(IPC1-7):G03C1/78 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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