发明名称 COUNTERFLOW DEVICE REDUCING THE NEGATIVE IMPACT OF CONTAMINATING MATERIALS USED IN MOISTURE SENSITIVE APPARATUSES OR PROCEDURES
摘要
申请公布号 EP0563236(B1) 申请公布日期 1999.01.27
申请号 EP19920902601 申请日期 1991.12.11
申请人 MEECO, INCORPORATED 发明人 METTES, JACOB
分类号 G01N27/42;G01N27/416;G01N33/00;(IPC1-7):G01N33/00;G01N27/26 主分类号 G01N27/42
代理机构 代理人
主权项
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