发明名称 LOCAL CLEANLINESS KEEPING SYSTEM IN CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPH1123031(A) 申请公布日期 1999.01.26
申请号 JP19970177980 申请日期 1997.07.03
申请人 TAISEI CORP;JAPAN LE-WA KK 发明人 UEDA TOSHIHIKO;SHIMAMURA KOSAKU;HASEBE TAKASHI;KAWASAKI YASUSHI
分类号 F24F7/06;F24F9/00;(IPC1-7):F24F7/06 主分类号 F24F7/06
代理机构 代理人
主权项
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