| 发明名称 |
COATING DEVICE AND COATING PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1119563(A) |
申请公布日期 |
1999.01.26 |
| 申请号 |
JP19970179989 |
申请日期 |
1997.07.04 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
OZAKI KAZUTO;OKUNO EIJI |
| 分类号 |
G03F7/16;B05C1/02;B05C5/02;B05C11/10;B05D1/26;G02F1/13;H01J9/02;H01L21/027;(IPC1-7):B05C5/02 |
主分类号 |
G03F7/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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