发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1117162(A) 申请公布日期 1999.01.22
申请号 JP19970171469 申请日期 1997.06.27
申请人 HITACHI LTD;HITACHI HARAMACHI SEMICONDUCTOR LTD 发明人 MURAKAMI SUSUMU;TSURUOKA MASAO;MATSUZAKI MITSUSACHI;SUGANO MINORU
分类号 H01L29/74;(IPC1-7):H01L29/74 主分类号 H01L29/74
代理机构 代理人
主权项
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