| 发明名称 |
TEST METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1116971(A) |
申请公布日期 |
1999.01.22 |
| 申请号 |
JP19970172121 |
申请日期 |
1997.06.27 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
NAKANO MASAO;FUJII YASUHIRO;KAMATA SHINNOSUKE;YANAGISAWA MAKOTO;MATSUZAKI YASURO;YAMADA TOYONAGA;MATSUOKA MASAMI;TOMITA HIROYOSHI |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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