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经营范围
发明名称
METHOD AND DEVICE FOR ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号
JPH1116849(A)
申请公布日期
1999.01.22
申请号
JP19970168551
申请日期
1997.06.25
申请人
SONY CORP
发明人
KOMATSU JUN
分类号
H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
地址
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