| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1116924(A) |
申请公布日期 |
1999.01.22 |
| 申请号 |
JP19970169927 |
申请日期 |
1997.06.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI MICROCOMPUT SYST LTD |
发明人 |
HIRATA KOJI;MOCHIZUKI KAZUHIRO;OKA TORU;MASUDA HIROSHI;TAGAMI TOMONORI |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/06;H01L27/15;H01L29/205;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/822 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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