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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR DETECTING END POINT OF PLASMA TREATMENT
摘要
申请公布号 JPH1116889(A) 申请公布日期 1999.01.22
申请号 JP19970167052 申请日期 1997.06.24
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 TAKAYAMA HIDEYUKI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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