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发明名称 EQUIPMENT AND METHOD FOR PROCESSING
摘要
申请公布号 JPH1116872(A) 申请公布日期 1999.01.22
申请号 JP19970177780 申请日期 1997.06.19
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 TANIYAMA HIROMI
分类号 B08B3/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
主权项
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