发明名称 OPTICAL SYSTEM, MEASURING METHOD, AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1114498(A) 申请公布日期 1999.01.22
申请号 JP19970170268 申请日期 1997.06.26
申请人 CANON INC 发明人 TSUBONO KAZUNARI;MATSUSHITA YASUSHI;MAKITA FUJIO;NAKANISHI HIROFUMI
分类号 G01B11/00;G01M11/00;G01M11/02;(IPC1-7):G01M11/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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