发明名称 |
OPTICAL SYSTEM, MEASURING METHOD, AND DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1114498(A) |
申请公布日期 |
1999.01.22 |
申请号 |
JP19970170268 |
申请日期 |
1997.06.26 |
申请人 |
CANON INC |
发明人 |
TSUBONO KAZUNARI;MATSUSHITA YASUSHI;MAKITA FUJIO;NAKANISHI HIROFUMI |
分类号 |
G01B11/00;G01M11/00;G01M11/02;(IPC1-7):G01M11/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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