| 发明名称 |
ELECTRON GUN, ION GENERATOR, ION TRAP DEVICE, ELECTRON TRAP DEVICE, OR VAPOR DEPOSITION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1116485(A) |
申请公布日期 |
1999.01.22 |
| 申请号 |
JP19970163710 |
申请日期 |
1997.06.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;LASER NOSHUKU GIJUTSU KENKYU KUMIAI |
发明人 |
YAMAMURA TAKESHI;KOTANI KOICHI |
| 分类号 |
H01J3/02;H01J3/40;H01J27/02;H01J37/06;H01J37/08;(IPC1-7):H01J3/40 |
主分类号 |
H01J3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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