| 发明名称 |
PROCEDE DE LITHOGRAVURE SUR SAILLIE NOTAMMENT SUR SUBSTRAT SEMICONDUCTEUR. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2671909(B1) |
申请公布日期 |
1999.01.22 |
| 申请号 |
FR19910000505 |
申请日期 |
1991.01.17 |
| 申请人 |
ALCATEL NV |
发明人 |
POINGT FRANCIS;LIEVIN JEAN-LOUIS;GAUMONT-GOARIN ELISABETH |
| 分类号 |
H01L21/302;G03F7/40;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/3105;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/469 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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