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发明名称 AFM SENSOR
摘要
申请公布号 JPH1114641(A) 申请公布日期 1999.01.22
申请号 JP19970183206 申请日期 1997.06.25
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 KAMIYA NOBUTAKA
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/26;G01Q60/38;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
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