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发明名称 EKISOEBITAKISHARUKETSUSHOSEICHOHO
摘要
申请公布号 JPS5192787(A) 申请公布日期 1976.08.14
申请号 JP19750017461 申请日期 1975.02.13
申请人 发明人
分类号 C30B19/06;C30B29/40;H01L21/208 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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