发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UNE CAPACITE METAL-METAL AU SEIN D'UN CIRCUIT INTEGRE, ET CIRCUIT INTEGRE CORRESPONDANT
摘要 <P>Les deux électrodes métalliques (40, 71) et la couche diélectrique (61) de la capacité métal-métal sont situées entre la couche isolante inférieure (2) supportant un niveau de métallisation (M 1) du circuit intégré et la couche isolante supérieure (80) recouvrant ce niveau de métallisation (M1).</P>
申请公布号 FR2766294(A1) 申请公布日期 1999.01.22
申请号 FR19970009164 申请日期 1997.07.18
申请人 STMICROELECTRONICS SA 发明人 MARTY MICHEL;JAOUEN HERVE
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L27/10;(IPC1-7):H01L29/92;H01L23/522 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
地址