发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1117032(A) 申请公布日期 1999.01.22
申请号 JP19970162791 申请日期 1997.06.19
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 MIYAWAKI YOSHIHIKO;MORIKAWA NARIHIRO
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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