发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1117181(A) 申请公布日期 1999.01.22
申请号 JP19970169791 申请日期 1997.06.26
申请人 SONY CORP 发明人 NAGASHIMA NAOKI
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/336;H01L21/8238;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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