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发明名称 ETCHING DEVICE AND OPERATION METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH1116888(A) 申请公布日期 1999.01.22
申请号 JP19970166888 申请日期 1997.06.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 MITANI KATSUHIKO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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