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发明名称
MIM CAPACITOR, MANUFACTURE THEREOF, AND HIGH-FREQUENCY INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH1117108(A)
申请公布日期
1999.01.22
申请号
JP19970163889
申请日期
1997.06.20
申请人
SHARP CORP
发明人
SHIRAKAWA KAZUHIKO
分类号
H01L27/04;H01L21/822;(IPC1-7):H01L27/04
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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