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发明名称 SELECTIVE CVD METHOD
摘要
申请公布号 JPH1116859(A) 申请公布日期 1999.01.22
申请号 JP19980114448 申请日期 1998.04.24
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 HARADA MASAMICHI;ITSUDO SHIGEFUMI
分类号 C23C16/02;C23C16/14;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
主权项
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