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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING YBCO THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH1117237(A) 申请公布日期 1999.01.22
申请号 JP19970166743 申请日期 1997.06.24
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 WATANABE YOKO
分类号 C01G1/00;B01J19/12;C01G3/00;C30B29/22;H01B12/00;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C01G1/00
代理机构 代理人
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