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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1117178(A) 申请公布日期 1999.01.22
申请号 JP19970166893 申请日期 1997.06.24
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MATSUHASHI HIDEAKI
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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